010-87681080
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技術文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時間：2021-01-07
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晶圓接觸角測量儀采用CCD數字攝像機，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統，搭配三維樣品臺，可進行工作臺上下、前后等方向移動。實現微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮桿結構工作臺，能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節，擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測試多次后的結果可以同時保存在同一報告下，能讓用戶對材料數據進行管控。該儀器設計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。
晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統適用于半導體晶圓工藝的質量控制。提供晶圓表面的快速并準確的接觸角/表面能分析，從而評估粘性，潔凈度及鍍膜。 采用輕量化的設計、組裝方便和的基于 Windows標準的用戶友好型軟件，以創建一個即準確容又容易使用的接觸角測量儀系統。 注射滴液機制可以抬起便于裝載，消除了對晶圓 (Wafers)可能產生的損壞。用于晶圓表面分析，同時也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應用。樣件可允許 300 X 300 X 19mm。
水滴角測量儀主機及測試視頻的操作視頻及圖片：
（1）主機使用高強度航空鋁合金結構搭配模塊化設計理念，集成芯片電路控制，保證儀器以狀態運行；
（2）成像部分使用高性能工業機芯及無失真遠心鏡頭確保的成像效果。
（3）工業級可調LED單波長冷光源系統，成像清晰
（4）自動位移平臺，實現Y、Z自動定位測量，定點地位更準確，測量效率更高
規格：
主機外形尺寸：1200mm（長）*600mm(寬)* 670mm(高) 主機凈重：55KG
工作臺面尺寸：420mm*420mm
工作臺移動：自動，行程160mm，精度0.01mm；上下移動 手動，行程20mm，精度0.01mm
進樣器移動：自動上下60mm（自動）; 左右30mm
工業鏡頭：前后移動30mm（微調3mm），0.7X *-4.5X連續變倍變焦顯微鏡
CCD：高速工業級芯片； 鏡頭角度可調試：仰視、平視、俯視多視角觀察
光源：LED可調節藍色基調工業級冷光源；使用壽命達貳萬伍仟小時以上
電源及功率：220V / 60HZ
晶圓產品處理前WORD報告及測試圖片：我們對樣品進行十個點的測試，平均角度72.04度。
晶圓產品處理后WORD報告及測試圖片：我們對樣品進行十個點的測試后，再用等離子清洗機處理，平均角度16.58度。
標樣校檢報告：儀器檢驗信息
儀器名稱：
水滴角測量儀
檢驗時間：
2018.10.08
儀器型號：
PZ-500SD
晶圓接觸角測量儀應用：
1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性：包括靜態接觸角，動態接觸角（前進/后退接觸角），接觸角滯后性等；
2、液滴在固體表面的起始滑動角（或滾動角），滑動速度；（擴張功能）
3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為；
4、固體表面自由能，及其各種分子相互作用力（如極性/非極性）的貢獻；
5、液體在固體表面的粘結力（adhesion）、滯留力（retention）等；
6、固體表面在經過清洗、處理后的結果（效果）評估：如潔凈度（cleanliness），均勻性（homogeneity），和表面能改變幅度等；
7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動態表/界面張力的測量；
8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現場、在線、實時監測；
9、表面活性物質（如表面活性劑）臨界膠團溶度（CMC）的測量：包括全自動CMC測量，全自動有關配方的篩選和優化；
10、表面活性物質在界面的吸附、排列、取向、松弛等現象的研究；
11、液體界面的粘彈性和穩定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩定性研究等等各種與液/流/固-體系相關的界面現象和過程的測量和分析等。
12、全自動檢測整體解決方案，可搭配至流水線上使用，提高檢測效率；
二·設備原理解析（Principle analysis）
規格：
前后移動 自動，行程160mm，精度0.01mm
上下移動 手動，行程20mm，精度0.01mm
（二）分析軟件：
（1）接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法（一鍵自動擬合，不存在人工誤差）包括：
圓法擬合（適用于低角度接觸角測量）
橢圓/斜橢圓擬合法（適用于高角度接觸角擬合）
LY（應用于120°以上高角度接觸角測量）
微分橢圓法/微分圓法（應用于不規則液滴形態接觸角的擬合）
潤濕性能測試（應用于慢性吸收材料、潤濕材料的表面吸收或潤濕性能測試，批量處理）
視頻擬合（應用于吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試，視頻動態處理）
規格：
四·產品特點（Product features）
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